OVLScan IR 系列鍵合套準精度量測設備
Optical Critical Dimension Metrology instrument
光學線寬測量儀
Optical Critical Dimension Metrology instrument
光學線寬測量儀
產(chǎn)品簡介
OVLScan IR系列產(chǎn)品在基于OVLScan功能的基礎上，集成自研紅外光學成像模塊，針對可見光不可穿透并成像的襯底材料或膜層介質(zhì)
上的圖形，采用紅外成像方式和雙面對射方式進行圖像采集及算法處理，計算套準的偏差值。
應用場景
主要應用于雙面曝光、鍵合工藝以及先進封裝領域的套疊對準誤差量測
晶圓尺寸：4"/6"/8"/12"
產(chǎn)品特點
· 高分辨率與低相差紅外光學成像系統(tǒng)保證紅外圖像采集的清晰度
· 高亮度寬光譜光源，可見光及紅外光波長自動調(diào)節(jié)，提高工藝適應性；
· 紅外圖像信號降噪處理技術及圖像自適應聚焦算法，保證量測結果準確性；
· 采用特殊結構及功能的運動控制系統(tǒng)匹配先進封裝領域晶圓結構形式；
· 集成SECS/GEM接口，支持APC、EAP的數(shù)據(jù)信息交互；
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