魅杰自主研發四個系列產品滿足半導體研發制造的多樣化需求
套刻精度量測設備
OVLScan系列
主要應用于集成電路制造
過程中光刻工藝套刻誤差
的量測。
鍵合套準精度量測設備
OVLScan IR系列
主要應用于雙面曝光、鍵合
工藝以及先進封裝領域的套
疊對準誤差量測。
圖形晶圓缺陷檢測設備
AIRScan系列
主要應用在ADI、AEI等前道
工藝過程檢及中后道出貨檢，
支持劃片后Frame環等工藝
段檢測。
多功能三維形貌量測設備
MACScan系列
主要應用于先進封裝工藝過程
中的關鍵尺寸測量。
專利發明及榮譽
120項
公開專利
73篇
授權專利
2篇
授權集成電路布圖
多項
PCT專利
企業研發資質
企業研發資質
部
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OVLScan SEMI認證
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AIRScan SEMI認證
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ISO9001質量管理體系認證
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ISO9001 EN
技術資質
技術資質
副
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集成電路布圖登記證書1
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集成電路布圖登記證書2
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半導體IBO套刻設備驗收規范T/SICA 008-2025
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魅杰半導體設備（無錫）有限公司
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